微纳加工

微纳加工实验室设备

方向一：微纳光学元器件

研究团队在X射线成像光学元件的研制方面有着丰富的经验，研制的软X射线聚焦波带片和成像波带片已应用在同步辐射实验线站上；研制的高线密度X射线光栅也成功应用于空间探测；研制的X射线大尺寸曲面光栅已应用到X射线相衬CT装置中。

方向二：微流体系统

研究团队在微流控系统方面开展过深入的研究，熟练掌握电泳技术和流体控制技术，同时也熟练掌握成像、电化学等检测技术，设计和制作了多种微流体系统（微分析芯片和微化学反应器）。

研究团队将微细加工技术引入废水处理研究中，开辟了微细加工应用的一个全新领域。首次研制出可适用于微生物颗粒分析的新型微电极，实现了对微生物颗粒中的各种成分及分布的定量分析，研究结果对于微生物颗粒的培养及其在废水处理中的应用具有重要的指导意义。同时，利用微细加工技术制备了一种微型微生物燃料电池，能在利用微生物降解废水中有机物的同时获取直接的电能输出，在国防、医学等领域具有潜在的应用价值。

方向三：MEMS器件