2006年

1.

文章名：Investigation on overplating high-aspect-ratio microstructure

作者：Yuhua Guo, Gang Liu, Yangchao Tian

期刊：Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2006, 6109:61090M-61090M-8.

引用：Guo Y , Liu G , Tian Y . Investigation on overplating high-aspect-ratio microstructure[J]. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2006, 6109:61090M-61090M-8.

DOI：10.1117/12.643650

2.

文章名：Fabrication of 3D photonic crystal by deep x-ray lithography

作者：Gang Liu,Yangchao Tian, Ying Xiong, Ya Kan

期刊：Micromachining Technology for Micro-optics & Nano-optics IV. International Society for Optics and Photonics, 2006.

引用：Gang L , Tian Y , Ying X , et al. Fabrication of 3D photonic crystal by deep x-ray lithography[C]// Micromachining Technology for Micro-optics & Nano-optics IV. International Society for Optics and Photonics, 2006.

DOI：10.1117/12.645585

3.

文章名：Fabrication of the three-dimensional solenoid type micro magnetic sensor

作者：Yiming Wang, Gang Liu, Yin Xiong, Jianzhong Yang, Yangchao Tian*

期刊：Journal of Physics Conference, 2006, 34(1):880.

引用：Wang Y , Gang L , Xiong Y , et al. Fabrication of the three-dimensional solenoid type micro magnetic sensor[J]. Journal of Physics Conference, 2006, 34(1):880.

DOI：10.1088/1742-6596/34/1/146

4.

文章名：Fabrication of PMMA Microchip of Capillary Electrophoresis by Optimized UV-LIGA Process

作者：Xuelin Zhu, Gang Liu, Ying Xiong, Yuhua Guo, Yangchao Tian*

期刊：Journal of Physics Conference, 2006, 34:875-879.

引用：Zhu X , Liu G , Xiong Y , et al. Fabrication of PMMA Microchip of Capillary Electrophoresis by Optimized UV-LIGA Process[J]. Journal of Physics Conference, 2006, 34:875-879.

DOI：10.1088/1742-6596/34/1/145

5.

文章名：Fabrication of LIGA mold insert using Ni-PTFE composite micro-electroforming

作者：Yuhua Guo, Gang Liu, Ying Xiong, Xuelin Zhu, Wang Jun, Yangchao Tian*

期刊：Journal of Physics Conference, 2006, 34:870-874.

引用：Guo Y , Liu G , Xiong Y , et al. Fabrication of LIGA mold insert using Ni-PTFE composite micro-electroforming[J]. Journal of Physics Conference, 2006, 34:870-874.

DOI：10.1088/1742-6596/34/1/144

6.

文章名：

作者：

期刊：

引用：王　俊,刘　刚,熊　瑛,郭育华,朱学林,田扬超 陶瓷微结构的制作研究 微细加工技术

DOI：

2005年

1.

文章名：The properties of demoulding of Ni and Ni-PTFE moulding inserts

作者：Z Peng，L Gang，Y Tian，X Tian

期刊：Sensors & Actuators A Physical, 2005, 118(2):338-341.

引用：Peng Z , Gang L , Tian Y , et al. The properties of demoulding of Ni and Ni-PTFE moulding inserts[J]. Sensors & Actuators A Physical, 2005, 118(2):338-341.

DOI：10.1016/j.sna.2004.01.042

2.

文章名：The lifetime comparison of Ni and Ni-PTFE moulding inserts with high aspect-ratio structure

作者：Y. Tian*, P. Zhang, G. Liu & X. Tian

期刊：Microsystem Technologies, 2005, 11(4-5):261-264.

引用：Tian Y , Zhang P , Liu G , et al. The lifetime comparison of Ni and Ni-PTFE moulding inserts with high aspect-ratio structure[J]. Microsystem Technologies, 2005, 11(4-5):261-264.

DOI：10.1007/s00542-004-0404-5

3.

文章名：Simulation of deep UV lithography with SU-8 resist by using 365 nm light source

作者：X. Tian, G. Liu, Y. Tian*, P. Zhang & X. Zhang

期刊：Microsystem Technologies, 2005, 11(4-5):265-270.

引用：Tian X , Liu G , Tian Y , et al. Simulation of deep UV lithography with SU-8 resist by using 365 nm light source[J]. Microsystem Technologies, 2005, 11(4-5):265-270.

DOI：10.1007/s00542-004-0405-4

4.

文章名：陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究

作者：王俊，郭育华，朱学林，刘刚，田扬超

期刊：中国微米纳米技术第七届学术年会

引用：王俊, 郭育华, 朱学林,等. 陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究[C]// 中国微米纳米技术第七届学术年会. 2005.

DOI：

5.

文章名：热模压成形技术中的脱模研究

作者：郭育华，刘刚，朱学林，王俊，阚娅，田扬超

期刊：中国机械工程, 2005, 16(z1):432-434.

引用：郭育华, 刘刚, 朱学林,等. 热模压成形技术中的脱模研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(z1):432-434.

DOI：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.155

6.

文章名：PMMA面键合的热压法工艺研究

作者：朱学林，郭育华，王俊，刘刚，阚娅，田扬超

期刊：中国机械工程, 2005, 16(z1):451-451.

引用：朱学林, 郭育华, 王俊,等. PMMA面键合的热压法工艺研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(z1):451-451.

DOI：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.162

7.

文章名：Ar/CHF3反应离子束刻蚀SiO2的研究

作者：王一鸣，熊瑛，刘刚，田扬超

期刊：CNKI:SUN:WXJS.0.2005-03-012

引用：王一鸣, 熊瑛, 刘刚,等. Ar/CHF3反应离子束刻蚀SiO2的研究[J]. 微细加工技术, 2005(03):67-70.

DOI：CNKI:SUN:WXJS.0.2005-03-012

8.

文章名：一种PMMA表面改性的热压键合方法研究

作者：朱学林，刘刚，田扬超

期刊：微细加工技术, 2005(04):52-55.

引用：朱学林, 刘刚, 田扬超. 一种PMMA表面改性的热压键合方法研究[J]. 微细加工技术, 2005(04):52-55.

DOI：CNKI:SUN:WXJS.0.2005-04-010

2003年

1.

文章名：离子束刻蚀入射角对图形侧壁陡度影响的研究

作者：胡新宁，刘刚，田扬超

期刊：微细加工技术, 2003(04):15-18.

引用：胡新宁, 刘刚, 田扬超. 离子束刻蚀入射角对图形侧壁陡度影响的研究[J]. 微细加工技术, 2003(04):15-18.

DOI：CNKI:SUN:WXJS.0.2003-04-003

2.

文章名：接近式光刻的计算机模拟研究

作者：田学红，刘刚，田扬超，张新夷，张鹏

期刊：微纳电子技术, 2003, 000(008):181-185.

引用：田学红, 刘刚, 田扬超,等. 接近式光刻的计算机模拟研究[J]. 微纳电子技术, 2003, 000(008):181-185.

DOI：10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.053

2002年

1.

文章名：SU-8的紫外深度光刻模拟

作者：田学红，刘刚，田扬超，张新夷

期刊：真空科学与技术学报, 2002, 22(6).

引用：田学红, 刘刚, 田扬超,等. SU-8的紫外深度光刻模拟[J]. 真空科学与技术学报, 2002, 22(6).

DOI：CNKI:SUN:ZKKX.0.2002-06-004

2.

文章名：合肥光源深X—射线光刻模拟

作者：田学红，刘刚，田扬超，张新夷

期刊：中国科学技术大学学报, 2002(06):702-706.

引用：田学红, 刘刚, 田扬超,等. 合肥光源深X—射线光刻模拟[J]. 中国科学技术大学学报, 2002(06):702-706.

DOI：10.3969/j.issn.0253-2778.2002.06.012

2000年

1.

文章名：电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺

作者：陈大鹏，刘刚，田扬超，胡一贯，阚娅，张新夷

期刊：微细加工技术, 2000(02):62-65.

引用：陈大鹏，刘刚，田扬超，胡一贯，阚娅，张新夷. 电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺[J]. 微细加工技术, 2000(02):62-65.

DOI：CNKI:SUN:WXJS.0.2000-02-012

1999年

1.

文章名：自润滑微机械系统研究

作者：田扬超，刘刚，洪义麟，付绍军

期刊：微细加工技术, 1999(2):47-51.

引用：田扬超, 刘刚, 洪义麟,等. 自润滑微机械系统研究[J]. 微细加工技术, 1999(2):47-51.

DOI：CNKI:SUN:WXJS.0.1999-02-008

1998年

1.

文章名：Microtribiology and self-lubrication microsystems

作者： Yangchao Tian; Gang Liu; Yilin Hong; Shaojun Fu; Yiguan Hu

期刊：Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1998, 3512:236-240.

引用：Tian Y , Gang L , Hong Y , et al. Microtribiology and self-lubrication microsystems[J]. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1998, 3512:236-240.

DOI：10.1117/12.324065

2.

文章名：

作者：

期刊：

引用：Y. Tian The progress of HARMST in China The 3th International Workshop on High Asptect Ratio Microstructure

DOI：

1997年

1.

文章名：Ultrathin resist films patterning using a synchrotron radiation lithography system

作者：W Lu，N Gu，Y Wei，Y Tian

期刊：Vacuum, 1997, 48(1):103-105.

引用：Lu W , Gu N , Wei Y , et al. Ultrathin resist films patterning using a synchrotron radiation lithography system[J]. Vacuum, 1997, 48(1):103-105.

DOI：10.1016/S0042-207X(96)00239-4

2.

文章名：

作者：

期刊：

引用：Y. Jin, P. Xu, X. Xie, C. Shi, Y. Zhang, Y. Tian SR Experiment Progress at NSRL SRN 10 12 1997

DOI：

1996年

1.

文章名：

作者：

期刊：

引用：Y. Tian, Y. Hong, S. Fu, Y. Hu, Y. Kan, X. Tao The Study of LIGA technique at NSRI Microsystem Technology 2 171 1996

DOI：

2.

文章名：LIGA技术制作Fresnel波带片的研究

作者：洪义麟，田扬超

期刊：微细加工技术, 1999, 000(001):62-67.

引用：洪义麟, 田扬超. LIGA技术制作Fresnel波带片的研究[J]. 微细加工技术, 1999, 000(001):62-67.

DOI：CNKI:SUN:WXJS.0.1999-01-008

3.

文章名：微细加工新技术－LIGA技术研究

作者：李川奇，沈连官，田扬超，胡一贯

期刊：仪器仪表学报, 1995(S1).

引用：李川奇, 沈连官, 田扬超,等. 微细加工新技术－LIGA技术研究[J]. 仪器仪表学报, 1995(S1).

DOI：CNKI:SUN:YQXB.0.1995-S1-013

1995年

1.

文章名：深度同步辐射光刻研究

作者：田扬超，洪义麟，付绍军，阚娅，陶晓明，胡一贯

期刊：科学通报, 1995, 040(001):83-85.

引用：田扬超, 洪义麟, 付绍军,等. 深度同步辐射光刻研究[J]. 科学通报, 1995, 040(001):83-85.

DOI：CNKI:SUN:KXTB.0.1995-01-025

2.

文章名：CuO／CeO2／γ—Al2O3催化剂的结构及氧物种

作者：田扬超，伏义路

期刊：催化学报, 1994, 015(003):189-194.

引用：田扬超, 伏义路. CuO／CeO2／γ—Al2O3催化剂的结构及氧物种[J]. 催化学报, 1994, 015(003):189-194.

DOI：